【摘 要】
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图2为采用GFS法沉积出AZO膜的XRD图,其中,Ar流量为3000 sccm,总气体压强为50 Pa,O2流量为10 ～ 50 sccm.沉积在未加热衬底玻璃上的AZO薄膜厚度在500 ～ 600nm范围内;当衬底加热到
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图2为采用GFS法沉积出AZO膜的XRD图,其中,Ar流量为3000 sccm,总气体压强为50 Pa,O2流量为10 ～ 50 sccm.沉积在未加热衬底玻璃上的AZO薄膜厚度在500 ～ 600nm范围内;当衬底加热到200℃,AZO薄膜的厚度在250 ～ 350 nm范围内.当O2流量大于20 sccm时,沉积出AZO膜的XRD图上清晰地出现了一个(001)取向的ZnO峰;而O2流量为10 sccm时,在未加热衬底上沉积出AZO膜的XRD图上有小的ZnO及Zn峰;另一方面,在O2流量在25 ～ 50 sccm范围内,200℃衬底上沉积出AZO膜的XRD图上则出现了一个(002)取向的ZnO峰.这些数据表明,在玻璃上长出的AZO膜,无论是加温到200℃或未加热,均具有多晶ZnO结构,c轴垂直于薄膜表面的方向.
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