【摘 要】
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采用双电测组合法设计了一款用于测试半导体材料方块电阻和体电阻率的测试仪,它是以凌阳单片机SPCE061A为控制核心,通过冗余通道法、PID算法和平均滤波法,提高了系统的测量准
【机 构】
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湖南大学物理与微电子学院,湖南大学电气与信息工程学院
【基金项目】
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湖南省自然科学基金（05JJ305115）.
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采用双电测组合法设计了一款用于测试半导体材料方块电阻和体电阻率的测试仪,它是以凌阳单片机SPCE061A为控制核心,通过冗余通道法、PID算法和平均滤波法,提高了系统的测量准确度和智能化水平。实际运行结果表明：与传统直流四探针测试法相比,该双电测试法测量结果与探针间距无关,能自动修正边界误差和量程的转换,还可以测量材料的匀均性,较好地满足了生产与教学需要。
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