基于两步相移干涉的微表面形貌检测系统

来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ouyang0078
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
为了精确稳定地测量物体微表面形貌,设计了一种基于改进迈克尔逊结构的空间两步相移干涉系统。该系统在泰曼-格林偏振干涉仪的基础之上,使用改进的迈克尔逊结构实现分光,采用偏振方向分别为0°和45°的两偏振片作为相移器件,在单个CCD相机中同时记录两幅具有90°相移的干涉图像,然后由离散希尔伯特变换法提取相位,获取物体表面形貌信息。搭建了两步相移干涉光路,并通过对玻璃平板表面的检测,验证了该系统的可行性。结果表明,在实验室环境下系统重复测量结果的均方根误差小于0.02λ,在实际微表面测量中具有良好的稳定性。
其他文献
角药是由具有相互作用的3味中药配伍而成的蕴含于中药复方中或直接独立成方的药物组合。医圣张仲景所著《伤寒杂病论》首创角药的雏形,为后世医家运用和发展角药奠定了坚实基
良好的医患沟通能力是医学生成长为临床医生所必备的基本技能,加强医学研究生医患沟通能力培养有助于构建和谐医患关系。针对临床教学过程中传染病专业研究生医患沟通能力培
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
本研究以长江口春(5月)、秋(11月)两季的小黄鱼(Larimichthys polyactis))耳石为研究对象,将10个耳石度量指标与鱼体体长、体质量进行函数关系拟合,并分析耳石绝对尺寸和相对尺寸与
利用1988—2017 年CCMP 海表风速( Cross Calibrated,Multi-Platform Ocean SurfaceWind Velocity)逐月数据、沿海气象站实测风速数据及NCEP /NCAR再分析资料,分析了CCMP 海
自贡市第五人民医院(自贡市精神卫生中心),始建于1968年,是自贡及川南地区集医疗、教学、科研、预防于一体,以精神、心理治疗为主,综合科系基本配套的地市级专科医院。
期刊
<正>珍珠鸡原产于非洲,耐热怕冷,经过驯化,在冬季气候条件下虽然能够生存,但其生产性能的发挥受到限制,抗病力降低,繁殖力下降,所以,了解珍珠鸡的养殖技术与发展前景就显得格