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介绍了CO2激光修复光学元件表面损伤用其对基片表面缺陷进行抛光的原理、内容以及最新进展，分析了CO2激光修复光学元件表面损伤对元件抗损伤阈值的提高所起的重要作用，并指出技术巾存在的问题。
CO2激光器在光学元件表面处理中的应用
【摘 要】
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介绍了CO2激光修复光学元件表面损伤用其对基片表面缺陷进行抛光的原理、内容以及最新进展，分析了CO2激光修复光学元件表面损伤对元件抗损伤阈值的提高所起的重要作用，并指出技
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2006年3期
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