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针对湿处理工艺带来的环境问题,以六氟丙烯、全氟庚烷、八氟环丁烷、1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇和2,2,2-三氟乙醇等氟碳化合物为气氛对纯棉织物进行等离子体处理,处理后的纯棉织物具有一定的拒水拒油性能。利用X射线光电子能谱（XPS）分析六氟丙烯、全氟庚烷等离子体处理前后织物的表面元素组成及官能团变化。结果表明,六氟丙烯、全氟庚烷等离子体处理在织物表面引入了50%以上的氟元素,经过水洗和溶剂抽提后,仍保持了10%以上的氟元素接枝在织物表面。