【摘 要】
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基于TGV(玻璃通孔)工艺实现圆片级真空封装的导线互联过程中,进行批量化的玻璃通孔金属填充是产品制备的必然选择。调研了玻璃加工的刻蚀技术,确定使用喷砂工艺制备通孔,基于
【基金项目】
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国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(51727808);国家自然科学基金项目(51705477);电子测试技术重点实验室稳定支持经费项目(WD614200104011804)
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基于TGV(玻璃通孔)工艺实现圆片级真空封装的导线互联过程中,进行批量化的玻璃通孔金属填充是产品制备的必然选择。调研了玻璃加工的刻蚀技术,确定使用喷砂工艺制备通孔,基于孔径和形貌设计了两种电镀方案均实现了金属对孔的密封,通过比较2次电镀的时间和形貌,最终确定了双面溅射种子层进行电镀的方案,实现了批量化的TGV工艺制备。
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