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扫描探针显微镜在纳米加工中的应用
扫描探针显微镜在纳米加工中的应用
来源 :分析化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tltim2009
【摘 要】
:
扫描探针显微镜不仅能对材料表面形貌进行原子级观测,还能够对单个的分子、原子及纳米粒子进行操纵.本文综述了扫描探针显微镜在纳米加工中对自组装单层膜的扫描探针刻蚀以及
【作 者】
:
孙旭平
张柏林
汪尔康
【机 构】
:
中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室
【出 处】
:
分析化学
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
扫描探针显微镜
纳米加工
纳米图案
纳米技术
材料表面
自组装
scanning probe microscopy
nanofabrication
appl
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扫描探针显微镜不仅能对材料表面形貌进行原子级观测,还能够对单个的分子、原子及纳米粒子进行操纵.本文综述了扫描探针显微镜在纳米加工中对自组装单层膜的扫描探针刻蚀以及'蘸写笔'两方面的应用情况.
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