【摘 要】
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本文介绍了一种 １０－４～１０－１Ｐａ压力范围真空规校准装置。简述了装置的结构及电器控制台的功能，列举了真空系统的设计及性能讨论；参考规采用 ＦＢ－１型标准电离规，配用 ＦＢＤＺ型标准电离真空计给出标准压力，
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本文介绍了一种 １０－４～１０－１Ｐａ压力范围真空规校准装置。简述了装置的结构及电器控制台的功能，列举了真空系统的设计及性能讨论；参考规采用 ＦＢ－１型标准电离规，配用 ＦＢＤＺ型标准电离真空计给出标准压力，为确保给出标准压力的可靠性设置了另一支ＦＢ－１规作为监视规；给出了本装置的适用范围；提出了相对校准方法的误差源，估算的不确定度为５％，对实现可靠的相对校准法所涉及的技术问题进行了较详细的实验．并作了讨论。
This article describes a 10-4 ~ 10-1Pa pressure range vacuum gauge calibration device. The structure of the device and the function of the electrical console are briefly introduced. The design and performance of the vacuum system are discussed. The reference standard adopts the standard ionization gauge FB-1 and the standard pressure gauge FBDZ to provide the standard pressure. The reliability of the standard pressure set another FB-1 gauge as a monitoring gauge; given the scope of application of the device; proposed relative calibration method of error sources, the estimated uncertainty of 5%, to achieve a reliable Relative calibration method involved in the technical issues conducted a more detailed experiment. And made a discussion.
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