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金刚石薄膜的发展及展望
金刚石薄膜的发展及展望
来源 :超硬材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xueyupiaoling
【摘 要】
:
介绍了金刚石膜在原料、预处理和制备工艺方面的技术进展,总结了行业内对金刚石膜应用领域的探索,并对其发展趋势进行了展望。
【作 者】
:
孔帅斐
刘一波
陈春晖
【机 构】
:
钢铁研究总院,北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司
【出 处】
:
超硬材料工程
【发表日期】
:
2020年3期
【关键词】
:
金刚石薄膜
半导体
元素掺杂
超导体
diamond filmssemiconductorco-dopingsuperconductor
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介绍了金刚石膜在原料、预处理和制备工艺方面的技术进展,总结了行业内对金刚石膜应用领域的探索,并对其发展趋势进行了展望。
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