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分析了在四杆机构驱动下的单面抛光机的抛光原理，建立了被抛光晶片在平稳运动状态下的数学模型，采用计算机语言对该数学模型进行运动仿真，并通过对比不同参数下的仿真结果，得出最优化的抛光参数。
铰链四杆机构驱动的单面抛光运动仿真
【摘 要】
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分析了在四杆机构驱动下的单面抛光机的抛光原理，建立了被抛光晶片在平稳运动状态下的数学模型，采用计算机语言对该数学模型进行运动仿真，并通过对比不同参数下的仿真结果，得出最
【机 构】
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苏州大学机电工程学院,盐城工学院机电工程学院
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2007年4期
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