分离靶多弧离子镀Nb-Al合金薄膜及其热腐蚀行为

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采用分离靶多弧离子镀技术,通过改变基片负偏压和分离靶弧电流 以及镀膜时间等参数,在310SS(stainless steel)基片上制备了多种成分的 Nb1-xAlx (0.38<x<0.64)合金薄膜。结果表明,选择适当的基片负偏压和分离靶弧电流可 制得所需成分的二元合金薄膜。对所制备的Nb1-xAlx薄膜,分别做了600℃、900℃ 的热腐蚀实验(低温热腐蚀和高温热腐蚀),热腐蚀实验表明,该薄膜具有较好的抗 热腐蚀能力 The multi-component Nb1-xAlx (0.38
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