生长温度与退火温度对钛酸铋薄膜晶相形成的影响

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本文研究了生长温度与退火温度对钛酸铋薄膜晶相形成的影响,在适当的组分下,550℃低温生长了α轴取向的 Bi4Ti3O12单晶体薄膜。高温退火(700~800℃)有利于多晶无取向或 c 轴取向的 Bi4Ti3O12薄膜的形成。
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