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生长温度与退火温度对钛酸铋薄膜晶相形成的影响
生长温度与退火温度对钛酸铋薄膜晶相形成的影响
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:thp2860051
【摘 要】
:
本文研究了生长温度与退火温度对钛酸铋薄膜晶相形成的影响,在适当的组分下,550℃低温生长了α轴取向的 Bi4Ti3O12单晶体薄膜。高温退火(700~800℃)有利于多晶无取向或 c 轴取向
【作 者】
:
付丽伟
王弘
尚淑霞
田亮光
徐平茂
【机 构】
:
山东大学,山东省科学院测试中心
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
1993年04期
【关键词】
:
常压 MOCVD
Bi4Ti3O12薄膜
退火
晶相
【基金项目】
:
国家863计划经费资助
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本文研究了生长温度与退火温度对钛酸铋薄膜晶相形成的影响,在适当的组分下,550℃低温生长了α轴取向的 Bi
4
Ti
3
O
12
单晶体薄膜。高温退火(700~800℃)有利于多晶无取向或 c 轴取向的 Bi
4
Ti
3
O
12
薄膜的形成。
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