0.1μmULPA过滤器和低阻HEPA过滤器的开发

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简要介绍了过滤器的发展历史和趋势,并详细介绍了0.10μmULPA过滤器和低阻HEPA过滤器的研制过程及性能特点,并与国内产品作了比较。
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