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非球面镜具有优良的光学性能,在现代光学系统设计中广泛采用。在非球面镜的生产加工中,需要一种既方便快捷又准确可靠的测量一些特征参数的在线检测方法。顶点曲率半径是非球面镜加工、检测和光学系统装校中的一个重要参数。介绍了一种基于光线追迹原理的非球面镜顶点曲率半径的测量方法和一些实验结果。
非球面镜顶点曲率半径测量方法
【摘 要】
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非球面镜具有优良的光学性能,在现代光学系统设计中广泛采用。在非球面镜的生产加工中,需要一种既方便快捷又准确可靠的测量一些特征参数的在线检测方法。顶点曲率半径是非球面镜加工、检测和光学系统装校中的一个重要参数。介绍了一种基于光线追迹原理的非球面镜顶点曲率半径的测量方法和一些实验结果。
【机 构】
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清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2003年30期
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