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场板结构可以有效抑制横向型HFET器件栅极边缘的电场集边效应，降低尖峰电场峰值，从而大幅提高器件的耐压特性。利用Sentaurus TCAD工具，构建具有场板结构的HFET器件，研究了场板长度和钝化层的厚度对器件沟道电场分布的影响，归纳出场板结构设计的基本规律和一般方法。
场板结构对AlGaN/GaN HFET电场分布的影响
【摘 要】
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场板结构可以有效抑制横向型HFET器件栅极边缘的电场集边效应，降低尖峰电场峰值，从而大幅提高器件的耐压特性。利用Sentaurus TCAD工具，构建具有场板结构的HFET器件，研究了场板长
【机 构】
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中山大学物理科学与工程技术学院
【出 处】
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中国科技论文
【发表日期】
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2014年7期
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