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利用大学生创新开放实验平台，设计了脉冲激光沉积薄膜实验。通过研究制备工艺对薄膜质量的影响，测量了最佳制备工艺条件下TiN薄膜的结构、表面形貌和光学性能。实验激起了学生的科学研究兴趣，对培养学生的创新意识和实践能力具有重大意义。
脉冲激光沉积薄膜创新开放实验的探索
【摘 要】
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利用大学生创新开放实验平台，设计了脉冲激光沉积薄膜实验。通过研究制备工艺对薄膜质量的影响，测量了最佳制备工艺条件下TiN薄膜的结构、表面形貌和光学性能。实验激起了学生
【机 构】
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广西大学材料科学与工程学院
【出 处】
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实验室科学
【发表日期】
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2012年3期
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