【摘 要】
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论述了芯片背面蒸金在管式合金炉合金后存在的质量问题，通过分析影响焊接质量的原因，提出用快速退火炉合金代替传统的管式合金炉合金，并优化合金温度和时间，最终找出合适的工艺条
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论述了芯片背面蒸金在管式合金炉合金后存在的质量问题，通过分析影响焊接质量的原因，提出用快速退火炉合金代替传统的管式合金炉合金，并优化合金温度和时间，最终找出合适的工艺条件，彻底解决了背金质量问题。该工艺生产的芯片饱和压降、热阻降低10%左右，且一致性好，同时使用快速退火炉合金后金层的厚度可大幅度减薄，大大降低了芯片成本。
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