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阐述了利用型号为ＹＷＤ－１Ａ的扫描电子显微镜如何改造成高能电子反射衍射仪（ＲＨＥＥＤ）．利用该台高能电子反射衍射仪的衍射花样对ＣｄＺｎＴｅ，ＨｇＣｄＴｅ半导体材料的表面结构进行测定，证实了ＣｄＺｎＴｅ（１１１）Ｂ和ＨｇＣｄＴｅ（１１１）Ｂ面的１×１表面再构，同时还对ＣｄＺｎＴｅ及Ｓｉ进行了晶格常数的测定，与理论误差相比误差小于２％．