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研究了用于扫描探针显微镜，特别是原子力显微镜（AFM）中的扫描器高精度定位问题。压电陶瓷驱动器通常用于这种扫描器中，在无补偿的开环控制期间，它在输入电压和输出位移之间表现出明显的迟滞和蠕变。迟滞和蠕变降低了扫描器的定位精度并使扫描图像出现了畸变。给出了迟滞和蠕变模型及参数的在线辨识方法。在AFM的扫描控制中，使用基于该模型的逆控制算法补偿了压电陶瓷的迟滞和蠕变。在分析中，Preisach迟滞模型和对数蠕变模型被用于描述压电陶瓷驱动器的非线性。由于该方法不需要在控制过程中进行参数设置，因此很容易使用。此外由