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应用于IC和纳米器件的等离子体蚀刻和淀积设备设计与制造商Tegal Corporation近期宣布，公司获得了两家日本领先公司关于Tega1900系列等离子体蚀刻设备的订单。Tega1900系列自发布以来，已经向全球半导体晶圆厂销售了1500套。
Tegal获得日本晶圆厂900系列蚀刻设备订单
【摘 要】
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应用于IC和纳米器件的等离子体蚀刻和淀积设备设计与制造商Tegal Corporation近期宣布，公司获得了两家日本领先公司关于Tega1900系列等离子体蚀刻设备的订单。Tega1900系列自
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年9期
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