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采用真空蒸镀并辅以热氧化法制备了NiO电极薄膜,考察了氧化温度对薄膜结构与电化学性能的影响. 结果表明,在600~700 ℃氧化温度下制备的NiO薄膜由颗粒大小为56~81 nm的纳晶组成. NiO薄膜的可逆放电容量随氧化温度的升高而增大,循环性能却略有降低. 在600 ℃氧化2 h时制得的NiO薄膜具有较高的放电容量和很好的循环性能.