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采用非平衡磁控溅射离子镀在W6M05Cr4V（M2）高速钢表面分别进行TiN、TiAlN涂覆．对TiN涂层和TiAIN涂层的抗高温氧化性能做对比性分析。通过观察不同温度下氧化后涂层的宏观形貌和色泽，涂层表面光学显微彤貌以及涂层表面显微硬度的变化，判定TiN、TiAlN涂层的抗高温氧化性能。结果表明，TiN涂层开始氧化温度为600℃，TiAIN涂层开始氧化温度为750℃。