【摘 要】
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介绍一种用于在线测量平面镜摆动姿态的方法及装置.装置采用四象限硅光电探测器为检测元件测量平面镜的摆动姿态,测量原理简单;测量装置以交流调制电路驱动半导体激光器的输
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介绍一种用于在线测量平面镜摆动姿态的方法及装置.装置采用四象限硅光电探测器为检测元件测量平面镜的摆动姿态,测量原理简单;测量装置以交流调制电路驱动半导体激光器的输出,采用偏振分光的光学系统,并利用相关检测的信号处理方式,有效消除了直流信号漂移的影响,具有较高的测量稳定性;分析了光斑形状及大小对测试结果的影响,研制了专门的标定装置;角度测量范围±30,测量精度优于0.5＂;测量传输器小巧、简单,可以很方便地应用于科学实验和工业测量中,实现平面镜摆动姿态的在线测量.
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