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高效平面全息衍射光栅的获取方法
高效平面全息衍射光栅的获取方法
来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kick88888888
【摘 要】
:
从全息衍射光栅的制作原理出发 ,介绍了全息光栅的主要制作方法 ,并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及
【作 者】
:
赵博
齐向东
【机 构】
:
北京大学遥感与地理信息系统研究所,中国
【出 处】
:
光学精密工程
【发表日期】
:
2001年02期
【关键词】
:
全息光栅
离子刻蚀
衍射效率
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从全息衍射光栅的制作原理出发 ,介绍了全息光栅的主要制作方法 ,并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计 ,同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术
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