论文部分内容阅读
通过扫描电子显微镜和室温光荧光谱仪研究了生长气氛、缓冲层厚度、掺杂浓度不同对GaN薄膜发光特性的影响.实验证明,缓冲层可以较好地改善外延膜的结构和表面形貌.n型GaN薄膜的光荧光谱图显示,主峰的积分强度随着掺硅浓度的增高而增高,黄带峰的发光强度反而下降.
GaN薄膜发光特性的研究
【摘 要】
：
通过扫描电子显微镜和室温光荧光谱仪研究了生长气氛、缓冲层厚度、掺杂浓度不同对GaN薄膜发光特性的影响.实验证明,缓冲层可以较好地改善外延膜的结构和表面形貌.n型GaN薄膜
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第46所,西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2005年5期
其他文献
阐明了化学机械抛光（CMP）工艺在集成电路制造中所发挥的关键作用，介绍了作为IC多层布线层间介质SiO2的化学机械抛光机理及其抛光液在化学机械抛光中扮演的重要角色，着重分析了影
针对网站频道和网页的特点，提出了选择网站频道关键词的方法。介绍了网页抓取、正文提取和词语切分的预处理过程。关键词权值的计算除了词频、位置，也包括了HIML标签。实验结果
专业知识交流问题是知识管理中的关键问题之一。本文从影响知识交流的认知障碍因素出发研究专业知识交流问题,并进而开发一个支持专业知识交流的可视化工具。从知识交流的一
[摘要]目的 探讨医用三氧治疗慢性乙型病毒性肝炎的疗效。方法 对35例慢性乙型病毒性肝炎患者使用医用三氧治疗。结果 应用医用三氧治疗慢性乙型病毒性肝炎能够使肝炎病毒载量明显降低，临床症状明显改善，转氨酶和胆红素迅速降低。结论 医用三氧在治疗慢性乙型病毒性肝炎降酶、退黄、抗病毒等方面有明显疗效，不失为一种新方法。 [关键词]医用三氧；慢性乙型病毒性肝炎 [中图分类号]R512.6 [文献标识码]
知识网格把网格技术的思想运用到信息管理和知识管理领域，推动了知识管理研究的发展，标志着目前网格研究已经从计算网格发展成为面向服务的网格。本文检索了国内外自2001～2006年