【摘 要】
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名称:氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法rn申请号:CN201610328702.1rn公开(公告)日:2016.09.28 申请日:2016.05.18rn申请(专利权)人:顾向欣rn发明(设计)人:顾向欣rn本发明
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名称:氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法rn申请号:CN201610328702.1rn公开(公告)日:2016.09.28 申请日:2016.05.18rn申请(专利权)人:顾向欣rn发明(设计)人:顾向欣rn本发明公开了一种氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法,包括如下步骤:(1)配制混合粉料;(2)配制预混液;(3)配制固化剂;(4)坩埚素坯的制作,本发明的氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法采用了硅酸乙酯和酸性硅溶胶为主的预混液,与含有二正丁胺的固化剂可在常温下即可发生固化,操作工艺简单,同时采用该预混液还避免了与混合粉料中硅粉发生水化反应,提高了产品的致密度;本发明的制作方法在制作过程中,在室温下干燥后可直接进行烧结,大大节约了能源和制作时间,且经室温干燥后的素坯具有一定的硬度,有效保证了制作完成的坩埚尺寸的精度.
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