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纳米半导体硅薄膜是利用等离子增强化学气相淀积方法制备的，制备条件可以很好地进行调节控制。纳米硅薄膜由两种组元组成；纳米尺度晶粒级元和晶粒间的界面组元，即晶态相和晶界相组成，这对发展半导体器件，例如量子功能器件和薄膜敏感器件等是特别有价值的。
纳米半导体及其应用
【摘 要】
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纳米半导体硅薄膜是利用等离子增强化学气相淀积方法制备的，制备条件可以很好地进行调节控制。纳米硅薄膜由两种组元组成；纳米尺度晶粒级元和晶粒间的界面组元，即晶态相和晶界相
【机 构】
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哈尔滨理工大学
【出 处】
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物理化学学报
【发表日期】
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1997年11期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,国防预研基金
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