【摘 要】
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提出了使用三坐标测量机（CMM）对离轴非球面镜进行测量的方法。通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量，获得实际面形的三维坐标数据，并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较，得到实
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提出了使用三坐标测量机（CMM）对离轴非球面镜进行测量的方法。通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量，获得实际面形的三维坐标数据，并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较，得到实际镜面的面形误差值和均方根值；依据CMM的测量结果，完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工，解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测，以至于无法加工的问题。随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段，使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接。
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