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讨论了ＧａＡｓ与ＧａＰ的毒性，中毒症状和解毒方法，比较了砷，磷的毒性异同，提出了在ＧａＡｓ与ＣａＰ的材料加工过程中开展三废防治的设想。
化合物半导体材料加工中的三废防治
【摘 要】
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讨论了ＧａＡｓ与ＧａＰ的毒性，中毒症状和解毒方法，比较了砷，磷的毒性异同，提出了在ＧａＡｓ与ＣａＰ的材料加工过程中开展三废防治的设想。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1998年6期
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