【摘 要】
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介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统。包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光学自适应设计。该光学系统可以自动消除由于光束平移和角漂对测量产
【机 构】
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清华大学现代应用物理系,清华大学精密仪器与机械学系
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介绍了根据光学自适应原则设计的外差自适应激光准直系统。包括确定主要噪声因子以及对主要噪声因子实现光学自适应设计。该光学系统可以自动消除由于光束平移和角漂对测量产生的误差。同时允许在测量过程中将测量元件移出光路之外，因此可以用于同轴度测量。实验表明：该系统比其它准直仪具有更高的分辨率和稳定性。与ＨＰ公司双频激光准直仪相比具有相同的分辨率和稳定性，而没有近程死区，实现了状态测量，具有广泛的应用范围。该系统的设计表明：光学自适应原则对精密仪器的设计是非常有效的
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