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<正> 高纯二氯硅烷主要用于硅外延及集成块硅膜制备,是一种硅源材料。河南省沁阳凌空特种气体厂于1993年5月完成试产,日前该产品通过了成果鉴定,专家们认为其产品
河南省沁阳市凌空特种气体厂生产高纯二氯硅烷
【摘 要】
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<正> 高纯二氯硅烷主要用于硅外延及集成块硅膜制备,是一种硅源材料。河南省沁阳凌空特种气体厂于1993年5月完成试产,日前该产品通过了成果鉴定,专家们认为其产品
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2004年期
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