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期刊论文
超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景
超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景
来源 :机械科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zj280078064
【摘 要】
:
介绍了超固体润滑的概念,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论,分析了超固体润滑在微机械电子系统中应用的前景,阐述了超固
【作 者】
:
董海军
王三民
李建华
陈国定
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
机械科学与技术
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
超固体润滑
纳米摩擦学
微机械电子系统
Ultrasolidlubrication
Nanotribology
MEMS
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介绍了超固体润滑的概念,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论,分析了超固体润滑在微机械电子系统中应用的前景,阐述了超固体润滑技术在微机械电子系统中应用的发展趋势.
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