超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景

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介绍了超固体润滑的概念,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论,分析了超固体润滑在微机械电子系统中应用的前景,阐述了超固体润滑技术在微机械电子系统中应用的发展趋势.
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