EV集团将GEMINI 300mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业

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EV集团(EVG)是微电子机械系统(MEMS)、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商,该集团宣布其EVGGEMINI 300mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的(MEMS)微电子机械系统大批量制造(HVM)。这是微电子机械系统工业(MEMS)的重要里程碑。
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