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振动是影响超精密加工质量的关键因素之一，而溜板的横向振动将通过刀架直接影响被加工工件的表面质量。为此，本文提出了溜板的振动主动控制。作动器采用自行研制的主动空气轴承作动器，以实现无摩擦接触，从而实现溜板纵向运动中的横向振动控制。控制采用模糊-PID控制，误差大时，采用模糊控制；误差小时，采用PID控制。实验结果表明，基于主动空气轴承的模糊-PID控制可以有效地减小溜板振动。