【摘 要】
：
本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Mo薄膜。分别采用XRD、SEM和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参数下薄膜结构和红外反射谱进行了测试
【机 构】
：
国家知识产权局专利局专利审查协作北京中心,北京航空航天大学凝聚态物理与材料物理研究中心
论文部分内容阅读
本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Mo薄膜。分别采用XRD、SEM和傅立叶红外光谱仪对不同工艺参数下薄膜结构和红外反射谱进行了测试。讨论了工艺参数、晶体结构参数与红外反射特性之间的关系,分析了影响红外反射特性的原因。结果表明,在不同工艺条件下制备的金属Mo膜均呈现很强的(110)结晶取向,溅射功率和溅射气压均会通过影响溅射过程、薄膜结构、致密度和表面形态而影响Mo薄膜的红外反射率。
其他文献
【正】据英国《每日邮报》3月28日报道,治愈肥胖的秘诀可能就藏在一个貌似不可能的地方——3000年前的木乃伊尸体。科学家们认为,抗生素的使用可能是当今肥胖症如此普遍的病
本研究旨在查明板青颗粒薄层色谱鉴别时出现供试品的精氨酸斑点相对于对照品精氨酸斑点滞后现象的原因,并探讨该鉴别方法的改进措施。用现行的《中华人民共和国兽药典》2015
现代化科学技术的飞速发展和广泛应用极大地提高了人们的生活质量和工作效率。地质测量中的制图技术也在向着智能化、自动化、信息化和数字化不断发展,既提高了地质测量工作的质量和效率,又提高了测量数据的实效性、准确性和可靠性。本文阐述了数字化制图技术的基本概况及对地质测量的重要意义,并探究了数字化制图技术在地质测量中的应用方法和操作流程,对提高地质测量的科学性和高效性具有一定的参考意义。
焦化废水成分复杂,是一种典型的含有难降解有机化合物的工业废水。采用扩展阴极电化学反应处理法对废水中污染物进行处理,最佳的运行参数为:电解电压18V、反应时间10min。
塞内卡病毒A(Senecavirus A,SVA)是一种无囊膜的单股正链RNA病毒,可引起成年母猪水疱性病变,并导致新生仔猪死亡。为建立SVA的快速检测方法,本研究对NCBI发表的40株SVA的基因
近日，国土资源部对2013年度全国非油气矿山企业矿产资源开发利用进行情况通报。通报显示，2013年自治区共计4，870个矿山，其中大型矿山企业171个，中型342个，小型为2，358个；从业人员达28.9万人，年产矿量达104，075，87万吨，工业总产值19，104，016.71万元，综合利用产值达1，612，688.96万元，矿产品销售收入18，064，773.05万元，全年全区利润总额2，4
<正>阿里狮泉河水电站是西藏自治区"十五"重点建设项目,2003年11月经国家批准建设,由国家全额拨款,西藏电力公司为工程建设法人。电站海拔4300m,总装机容量6400kW。电站的建
发电厂因对地面施工,将埋地的砖厂变6kV电缆损坏,使1#机组A相发生间歇性电弧接地,而后产生PT铁磁谐振,引起1#机组6kV1A、1B段母线PT高压侧保险熔断,母线电压迅速降低并波动,
油田经济适用房作为管理局的民心工程,关系到千家万户的切身利益。在胜利油田经济适用房定型设计中设计完成了多个型号板式及高层住宅,圆满完成了该项目。
本文采用合金粉末热处理固态扩渗的方法,对AZ91HP镁合金表面进行改性处理,从而改善镁合金表面的综合性能。通过研究所形成的Zn和CeO2混合热扩散渗层对AZ91HP合金组织、结构组