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高分辨显微测量系统在观察样品表面细微结构和普通光学难以分辨的极限尺寸样品的测量中实现了高分辨、高精度和自动化的综合显微分析.文中采用激光光源提高显微测量精度,并消除了 激光散斑的影响,采用高分辨CCD工业相机对光盘的道间距及表面参数进行了实时显微测量分析.
高分辨激光显微测量系统的应用
【摘 要】
：
高分辨显微测量系统在观察样品表面细微结构和普通光学难以分辨的极限尺寸样品的测量中实现了高分辨、高精度和自动化的综合显微分析.文中采用激光光源提高显微测量精度,并消
【机 构】
：
兰州城市学院
【出 处】
：
大学物理实验
【发表日期】
：
2017年2期
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