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为了降低槽型腔滤波器透射频谱的FWHM（半高全宽），采用FDTD（时域有限差分法）对基于MIM（金属-介质-金属）波导的单槽型腔滤波器和级联槽型腔滤波器结构进行了数值模拟，并用耦合模理论对其透射频谱进行了分析。仿真结果表明，级联槽型腔滤波器能够有效抑制透射频谱的FWHM，其透射频谱的FWHM仅为单槽型腔结构的30％～40％。