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提供了一个实用的由椭偏参数求解薄膜厚度和折射率的计算程序。用复数乘、除法子程序解决复数的乘除运算，用差商代替解方程时需作的求导运算，大大简化了程序的编制工作。并在迭代公式中引入收敛因子解决了某些情况下的收敛域过小的问题。
椭偏仪测厚法的数值计算
【摘 要】
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提供了一个实用的由椭偏参数求解薄膜厚度和折射率的计算程序。用复数乘、除法子程序解决复数的乘除运算，用差商代替解方程时需作的求导运算，大大简化了程序的编制工作。并在迭
【机 构】
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中国纺织大学基础部
【出 处】
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纺织高校基础科学学报
【发表日期】
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1998年4期
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