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采用光刻法制备出微米尺度的硅微方柱结构,并利用化学气相沉积的方法在其上可控的生长定向碳纳米管,由此制备出具有可控比例微纳二级结构的超疏水表面.通过扫描电子显微镜测量(SEM)、接触角、滚动角测试的方法对具有不同微纳结构比例及尺寸的表面形貌和性能进行探查和测试,对制备过程中参数的选择做出了优化处理,得到了表面性质均匀、稳定的二级结构超疏水表面.通过粒子图像测速(PIV)的方法测量在结构表面滚动液滴的内部流动形态,并与一级结构表面进行对比.分析并总结了本文中表面的疏水机理及表面微纳结构比例、形态、尺寸等因素对疏水性能的影响.