【摘 要】
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该文主要介绍了一种基于扫描隧道显微系统的垂壁微结构测量技术.针对垂壁微结构常规测量手段对于几何外形突变区域难以达到需求的测量指标这一问题,该文提出对于经典扫描隧道
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该文主要介绍了一种基于扫描隧道显微系统的垂壁微结构测量技术.针对垂壁微结构常规测量手段对于几何外形突变区域难以达到需求的测量指标这一问题,该文提出对于经典扫描隧道显微系统进行改进实现测量样品安装平台可调角度控制,同时采用倾斜测量技术,对于样品测量区域正反向倾斜的重复扫描,最后通过实验数据倾斜矫正以及图像去耦合处理实现垂壁微结构的形貌三维扫描的测量方法.该方法在保持传统扫描探针显微系统局部细节测量精度的同时,对于垂壁结构能够进行完整的三维形貌重构,并且大幅度提高了测角精度,能够为微机电系统元器件结构性能评估
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