用于纳米光电子器件加工的纳米金属膜的制作

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shs20000

【摘要】

：

在利用Top-Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节.采用金属Ti-SOS结构的纳米器件,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于A

【作者】

：

王战刘庆纲匡登峰米文博白海力胡小唐

【出处】

：

仪器仪表学报

【发表日期】

：

2003年z1期

【关键词】

：

纳米器件 AFM针尖诱导氧化 Ti膜 Nano deviceAFM tip induced oxidationTi film

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在利用Top-Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节.采用金属Ti-SOS结构的纳米器件,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于AFM针尖诱导氧化加工Ti纳米氧化线/电路图形结构质量的重要因素.文中叙述了Ti膜的制备和检测方法,给出了纳米Ti膜的制备和在一定环境下对其进行氧化加工的结果.

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