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纳米加工技术的研究进展
纳米加工技术的研究进展
来源 :纳米科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shibihu
【摘 要】
:
纳米技术的核心是纳米加工技术。文章阐述了纳米加工技术的研究现状、应用和前景展望。希望对纳米加工技术有所了解。
【作 者】
:
张文毓
侯世忠
【机 构】
:
洛阳船舶材料研究所
【出 处】
:
纳米科技
【发表日期】
:
2011年4期
【关键词】
:
纳米加工技术
SPM
电子束光刻
微纳米加工
nano-machining
technology
SPM
electron-beam-photoetchi
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纳米技术的核心是纳米加工技术。文章阐述了纳米加工技术的研究现状、应用和前景展望。希望对纳米加工技术有所了解。
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