直流电弧等离子体喷射(DCPJ)法在沉积金刚石膜上的应用

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直流电弧等离子体喷射法是制备金刚石膜的一项很有前途的技术。综述了直流电弧等离子体喷射法的原理、进展状况、工艺上的改进和建立机理模型上的努力。 DC arc plasma jet method is a very promising technology for preparing diamond films. The principle, development status, process improvement and establishment of mechanism model of DC arc plasma spraying are reviewed.
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