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分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准.针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结构尺寸,从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估微光学元件性能的方法.
微透镜阵列的计量标准化
【摘 要】
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分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准.针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结构尺寸,从而建立了一套通过测试元件的几何参
【机 构】
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华中科技大学机械学院仪器系,哈德斯菲尔德大学
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
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2004年期
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