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硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点,特别适合于在特殊环境中的应用.简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状.
硅基光波导压力传感器
【摘 要】
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硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点,特别适合于在特殊环境中的应用.简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结
【机 构】
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哈尔滨工业大学,中国航空工业空气动力研究院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2002年8期
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