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在全球半导体行业化学机械研磨（CMP）技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad？研磨垫系列又增添了二款新品。这二款产品可提供世界级的低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
罗门哈斯推出高级化学机械研磨（CMP）专用新型VISIONPAD^TM产品
【摘 要】
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在全球半导体行业化学机械研磨（CMP）技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad？研磨垫系列又增添了二款新品。这二款产品可提供世界
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年8期
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