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基于薄膜/基体界面结合强度对膜基体系的使用效果有直接影响,采用压痕法测定了1Cr18Ni9Ti钢基材表面物理气相沉积铜薄膜的界面结合强度,并通过分析界面处的受力情况,建立相应的数学模型计算出界面结合力.
亚微米铜薄膜界面结合强度的测定
【摘 要】
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基于薄膜/基体界面结合强度对膜基体系的使用效果有直接影响,采用压痕法测定了1Cr18Ni9Ti钢基材表面物理气相沉积铜薄膜的界面结合强度,并通过分析界面处的受力情况,建立相应
【机 构】
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上海交通大学教育部高温材料与高温测试重点实验室
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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2002年6期
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