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电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhoufei123456

【摘 要】

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【作 者】

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赵彦辉  郎文昌  肖金泉  宫骏  孙超 

【出 处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

电弧离子镀 大颗粒污染 旋转横向磁场 弧源设计 

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(No.51171197)

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