论文部分内容阅读
文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并根据该设计思想进行了可行性原理实验，取得了较好的结果。
激光LIGA工艺实验设计
【摘 要】
：
文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并根据该设计思想进行了可行性原理实验，取得了较好的结果。
【机 构】
：
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
1996年3期
其他文献
超声压电陶瓷换能器可以探测5000m以下深处的地质结构和油井固实程度.用于压电陶瓷换能器的PT-PSN陶瓷性能参数是,Tc=380oC,kt=45%,εr=420,tanδ=1.5%,Qm=2200,Ec=733V/mm.
随着饮食物质的丰富,人们更注重饮食菜肴的营养与养生,对汤品有着更高的要求,厨师们与时俱进,对汤品的提炼更合乎时代的要求.为什么汤能在烹调菜肴中起着这么大的作用？由于厨
中共十七大以来，人民解放军在以胡锦涛为主席的中央军委正确领导下，牢牢把握和平与发展的时代主题，紧随世界军事变革趋势，着眼国家安全利益，以推进军队现代化建设为核心，锐意改革，开
该文在广泛调查的基础上，深入研究分析了师范专科生的恋爱心理和行为，指出师范专科生的恋爱从其特点上可分为五大类型，并提出了切实可行的教育咨询措施。
二十世纪七十年代末,我国科学家郭小伟提出了针对当时的原子荧光光谱分析技术相关缺陷,并且对原子荧光光谱分析技术进行了测试以及研究,在此时将原子荧光光谱分析技术推向了
超大容量电容器亦称双电层电容器,具有比传统电容器高得多的能量密度和比电池高得多的功率密度.采用活性炭作电极活性物质,得到单体比容量为 52 F·g-1, 并通过并联、串
鼻咽、腮腺、中外耳及脑部等头颈部恶性肿瘤患者采用放射治疗时，单侧或双侧耳蜗受到相当于肿瘤治疗剂量的照射，但是对耳蜗组织的放射耐受安全剂量没有统一的资料佐证，这就给临床
食品中污染的病原细菌是引起食源性疾病的主要因素之一,每年向卫生部上报的食物中毒人数逐年递增,且大部分是由食源性致病菌引起的。据世界卫生组织估计,全世界每年的食源性
以毛泽东为代表的中国共产党人,在漫长的中国革命历程中,创造性地生产了深刻影响现代中国社会生活的思想观念,这些思想观念曾经主导了现代中国的社会生活、精神生活、政治生