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<正> 化工部光明化工研究所承担的“863”高技术计划中“高纯金属有机化合物的制备”研究项目高纯 TMIn、TMSb、DEZn及MO源封装瓶的研制,于1990年12月15～16日在大连通过了化工部的技术鉴定。鉴定委员会由来自全国10个单位从事MOCVD技术研究和化工研究的12名专家
高纯TMIn、TMSb、DEZn及MO源封装瓶通过化工部技术鉴定
【摘 要】
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<正> 化工部光明化工研究所承担的“863”高技术计划中“高纯金属有机化合物的制备”研究项目高纯 TMIn、TMSb、DEZn及MO源封装瓶的研制,于1990年12月15～16日在大连通过了化工
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2004年期
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